曲线标准

振幅
μm/s (μin/s)

Detail Size2
μm

用途描述

Workshop (ISO)

800( 32,000)

N/A

振感明显。 适用于车间或非振动敏感区域。

Office (ISO)

400 (16,000)

N/A

可察觉的振动。适用于办公室及非敏感地区。

Residential Day (ISO)

200 (8000)

75

几乎察觉不到的振动。大多数情况下适合睡眠区域。通常适用于计算机设备、医院康复室、半导体探针测试设备和小于40倍的显微镜。

Op. Theatre (ISO)

100 (4000)

25

不易于察觉的振动。适用于外科设备，100倍的显微镜或其他低灵敏度的设备。

VC-A

50 (2000)

8

通常适用于400倍的光学显微镜、微天平、光学天平、接近和投影对准器等。

VC-B

25 (1000)

3

适用于线宽为3μm的检查和光刻（包括步进机）。

VC-C

12.5 (500)

1 - 3

适用于1000倍光学显微镜，1μm的检查/光刻检查设备（包括中灵敏度电子显微镜），TFT-LCD步进/扫描器。

VC-D

6.25 (250)

0.1 - 0.3

适用于要求苛刻的设备，包括电子显微镜（TEM和SEM）和电子束系统。

VC-E

3.12 (125)

< 0.1

一个难以达到的标准。适用于高灵敏度系统，包括长径、激光、小目标系统、纳米尺度的电子束光刻系统，以及其他对动态稳定性要求*的系统。

VC-F

1.56 (62.5)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-G

.78 (31.3)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

NIST-A

在高于20 Hz的频率下，NIST-A标准与VC-E曲线相同，但低于此频率时，则保持恒定位移。 1至20 Hz之间为0.025μm或25 nm; 20至100 Hz之间为3.1μm/ s（125μin / s）

NIST-A1

NIST-A1标准要求小于4 Hz的频率的RMS速度为3μm/ sec（118μin。/ sec），而对于4 Hz <f <100 Hz的频率则为0.75μm/ sec（29.5μin。/ sec）速度

VC-H

.39 (15.63)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-I

.195 (7.81)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-J

.097 (3.9)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-K

.048 (1.95)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-L

.024 (0.98)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

VC-M

.012 (0.49)

N/A

适用于极其安静的研究空间； 通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中。 不建议将其用作设计标准，仅用于评估。

1在8至80 Hz（VC-A和VC-B）或1至80 Hz（VC-C至VC-G）频率范围的三分之一倍频程中测得

2 detail size是指微电子制造情况下的线宽，医学和制药研究情况下的粒子（单元）尺寸等。与探针技术，AFM和纳米技术相关的成像无关。