超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机 适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平，可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。

TMC Stage-Base混合压电电机主动隔振系统 TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。

TMC LaserTable-Base混合压电主动隔振系统 TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术（空气和STACIS）整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应，这实现了低频率消振和qian所wei有的高频隔振水平。

TMC Hybrid Honeycomb面包板 许多超精密工具包括光学子组件。这种子组件必须安装在刚性、平坦的阻尼表面上，以保持光学系统的位置稳定性。直到现在，工程师都不得不在机加工铝板和蜂窝光学面包板之间做出选择。铝板的优点是可加工到精确的平整度、平行度以及孔位置的偏差较小。蜂窝面包板的优点是可提供结构阻尼以及更高的刚度重量比。

TMC 用刚性联轴器拼接光学平台 CleanTop光学顶部可提供多个部分，最大尺寸为1.5米 x 4.8米（5英尺 x 16英尺）。 复杂的光束路径通常需要更大的尺寸，这可通过连接顶部来实现。 为了达到理想的效果，联轴器不得影响接头的刚度、阻尼或平整度。

TMC CleanTop轻量级光学面包板 CleanTop®钢光学面包板可为较小的顶部提供zhuo越的刚性和阻尼。这些顶部有2英寸和4英寸厚度，与我们的大型光学平台具有相同的高性能CleanTop结构。 有三种性能级别以及一系列定制选项可供选择。