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TMC CleanTop光学平台研究级784系列 提供*的光学顶部性能。研究级系列具有业内*性能,它结合了zui小的单元尺寸、zui高的芯密度、*的CleanTop®设计、全钢结构以及市场上zui高水平的结构阻尼。 研究级CleanTop适用于苛刻的应用,包括干涉仪、全息和超快激光器以及zui严重的地面振动环境
TMC 光学平台Everstill主动台式隔振器 主动消振技术。适用于小巧轻便的超精密仪器 主动硬安装。无空气。强大的即插即用设计 *的振动传感器技术。采用亚赫兹性能的集成检波器类型的速度传感器。比加速计具有更好的低频灵敏度。 Gainmatch™可优化性能。开关允许用户轻松选择3种增益设置。这确保了 da程度的消振性能以及不同用户环境的稳定性。
TMC784系列研究等级光学平台性能上是工业中的。它具有TMC*的CleanTop设计:小的核心尺寸,高的核心密度设计,全钢结构以及商用高等级结构阻尼。研究等级的CleanTop在要求很严苛的领域如干涉仪、全息术,和超快激光技术,以及严重的地板振动环境中都被推荐使用。将STACIS® iX 支腿或混合空气/压电平台振动消除系统和此平台结合使用,可以形成好的整体振动控制。
STACIS®III主动隔振系统主动光学平台。采用*的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和*的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。 初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振,STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备
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