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高阻尼空气隔振系统MaxDamp

更新时间:2024-10-10

简要描述:

高阻尼空气隔振系统MaxDamp
MaxDamp®将Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合,为此类应用提供了额外的阻尼。

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

MaxDamp®将Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合,为此类应用提供了额外的阻尼。MaxDamp虽然不能提供我们UltraDamp系列的主动、最高阻尼,但当需要较高阻尼时,它却是一个好的选择,其减振性能只略有减弱。MaxDamp适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。适用于半导体检测、光刻机以及其他具有相对较高力的电动工作台的仪器。

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

优点:

结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势,并具有高阻尼作用

非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

更快的工具吞吐量和更高的产量

从3 Hz开始的水平和垂直隔振

共振的最小放大(8-12 dB)

模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振


特点:

  • 更快的有效负载稳定时间。

  • LCD和半导体制造和检测工具的生产率更快、产量更高。

  • 在保持高隔振性能的同时,隔振表面有“更硬"的手感。

  • 由气流、噪音以及所产生的“机上"力引起的振动较小。


比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

隔振器订购表
承重能力Gimbal PistonMaxDampUltraDamp
160千克(350磅)62GP-016062MD-016062UD-0160
450千克(1000磅)62GP-045062MD-045062UD-0450
1150千克(2500磅)62GP-115062MD-115062UD-1150
2600千克(5700磅)62GP-260062MD-260062UD-2600
高度控制订购表
输入空气输入使用备件货号
标准阀门0.042升/分钟(0.0015立方英尺/分)SV62
精密阀门0.42升/分钟(0.015立方英尺/分)PV62
PEPS II57升/分钟(2立方英尺/分钟)PEPS62



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