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超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机

更新时间:2024-04-22

简要描述:

超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机
适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平,可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。

TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的手选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择,适合各种应用。

这些隔振器是OEM应用的理想选择,采用模块化、可互换和可升级的设计。此外,为了确保您定的版本能够满足您的稳定时间和隔振要求,TMC工程师可以使用我们的“移动工作台应用程序模型"为您的配置进行建模。


超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机

UltraDamp™隔振器

TMC现在提供更主动的阻尼UltraDamp™。适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平,可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。


优点:

结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势,并具有极其主动的阻尼作用

非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

更快的工具吞吐量和更高的产量

从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振

共振的最小放大(3-5 dB) 模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振


性能:

比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平

超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机

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