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  • 什么时候使用主动隔振系统?哪种方法更适合您的应用程序?(第一部分)

    2021-05-07 什么时候使用主动隔振系统?哪种方法更适合您的应用程序?(第一部分)主动系统隔振本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解,它们是如何工作的,什么时候应该应用,以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用,因此得到了特别的关注。5.1历史反馈控制系统已经存在了几百年,但是在20世纪有了最大的发展。在第二次世界大战期间,这项技术被用于防御系统,取得了非常迅速的进展。这些发展还在继续,甚至在今天,大多数关于控制系统的文本都以战斗机控制和倒弹制导系统为例...
  • 如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量?

    2021-02-05 如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量?振动对高级浸没式光刻的影响没有使用STACIS®在原基座的弹性体或刚性版本上获得jia模式使用STACIS®STACIS主动隔振实现的模式所示的45纳米线宽测试图形是由AmphibianSystems公司生产的*浸入式光刻系统生产的,安装在德克萨斯州*的SEMATECH公司。图像之间的差异是由于地震振动对光刻过程的影响。所显示的图像是使用扫描电子显微镜获得的。该工具初安装在钢和混凝土基座上,基座采用钢支撑结构,其中包含...
  • 【是心动的感觉】-新品Cleanbench-AKTIV

    2021-01-18 【是心动的感觉】-新品Cleanbench-AKTIV主动压电隔振与气浮隔振的完美结合:CleanBenchAktiv™实验台是TMC在高性能地面振动控制方面的新突破。它将TMC的Everstill主动消振技术与MaxDamp气浮隔振器相结合。Everstill可从0.5至0.7Hz开始提供出色的低频消振性能,而MaxDamp可提供高频率的较好隔振性能补充。比气浮性能改善高达40倍:这种串联式的组合结构,使我们的CleanBenchAktiv在特别关键的1-3Hz...
  • 主动压电隔振与气浮隔振的结合Cleanbench-AKTIV

    2021-01-18 新品Cleanbench-AKTIV主动压电隔振与气浮隔振的结合:CleanBenchAktiv™实验台是TMC在高性能地面振动控制方面的新突破。它将TMC的Everstill主动消振技术与MaxDamp气浮隔振器相结合。Everstill可从0.5至0.7Hz开始提供出色的低频消振性能,而MaxDamp可提供高频率的较好隔振性能补充。比气浮性能改善高达40倍:这种串联式的组合结构,使我们的CleanBenchAktiv在特别关键的1-3Hz频率内性能提升明显:提...
  • 主动压电隔振与气浮隔振的完美结合

    2021-01-18 【是心动的感觉】-新品Cleanbench-AKTIV主动压电隔振与气浮隔振的完美结合:CleanBenchAktiv™实验台是TMC在高性能地面振动控制方面的新突破。它将TMC的Everstill主动消振技术与MaxDamp气浮隔振器相结合。Everstill可从0.5至0.7Hz开始提供出色的低频消振性能,而MaxDamp可提供高频率的较好隔振性能补充。比气浮性能改善高达40倍:这种串联式的组合结构,使我们的CleanBenchAktiv在特别关键的1-3Hz...
  • Crystalaser激光器在流式细胞学中的重要角色

    2021-01-14 激光器在流式细胞学中的重要角色医学中所说的流式细胞学(FlowCytometry,FCM)是对被荧光色素染色的单细胞或微粒,在激光照射高速流动状态下,对其进行快速、准确地定性或定量检测的一种现代细胞分析和分选技术。其中流式细胞仪是集光学、流体力学、电子学、机械制造及自动化、抗体和荧光标记技术、计算机与软件工程等多种技术为一体的高通量、多参数分析与分选仪器。同传统的荧光显微镜相比,流式细胞仪具有速度快、精度高、准确性好等特点。流式细胞学在医学临床方面的主要应用:(1)肿瘤学中的...
  • Vescent D2-125激光伺服器在生物领域的应用典型案例

    2021-01-08 VescentD2-125激光伺服器在生物领域的应用典型案例科罗拉多州立大学(ColoradoStateUniversity,CSU),DavidWinters博士借助VescentD2-125激光伺服器在单像素成像的生物领域获得了很大的进展。针对单像素成像的生物领域,DavidWinters博士讨论了新的单像素成像方法(SPIFI方法),其根本原理是通过基于激光计量和频率的合成理念,测量小位移的中心频率的光脉冲,类似脉冲受激拉曼散射,使得脉冲在探测瞬态光学磁化率时获得位移。...
  • 关于微振动的评估和测量,你了解多少?

    2020-12-18 关于微振动的评估和测量,你了解多少?︳振动准则(VC)曲线:振动等级评估标准如何评价实验室是否达到实验/应用的微震需求?如何判定实验设备需要/不需要进行隔振处理?今天我们来分享一种评判环境振动程度的评估准则:VibrationCriterion(VC)Curves——振动准则(VC)曲线。VC(振动准则)曲线是在20世纪80年代早期由EricUngar和ColinGordon提出的。它们初是为了半导体,医疗和生物制药行业的振动敏感设备的通用振动标准而开发的,经过这么多年的扩展...
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