在精密光学实验、扫描探针显微镜(SPM)、电子显微镜、纳米压痕、激光干涉测量及高精度计量领域,振动是影响数据准确性的关键。气浮隔振平台利用压缩气体在平台与基座间形成微米级气膜,有效隔离来自地面、设备或人员走动的低频振动(1-30Hz),为精密仪器提供稳定的环境。然而,其性能发挥高度依赖正确的安装与操作方法。掌握气浮隔振平台的科学使用技巧,是驾驭它的关键。

一、环境选择
平台应放置于远离大型机械、电梯、空压机等强振源的实验室区域。地面需坚实、平整、无明显倾斜。避免阳光直射或空调出风口直吹,防止温度梯度引起空气扰动。确保周围有足够的操作空间,便于气路连接与仪器布置。
二、水平调节
使用高精度水平仪(分度值≤0.02mm/m)调整平台底部的可调支脚,使台面在X、Y方向均达到精确水平。水平偏差过大会导致气膜厚度不均,影响浮升高度与隔振效果,甚至造成平台单侧接触基座。
三、气源准备
气浮平台需洁净、干燥、稳定的压缩空气(通常压力为0.4–0.7MPa)。必须配备三级过滤器(除水、除油、除尘)和稳压阀,防止杂质堵塞微小气孔或造成压力波动。建议使用无油空压机,避免润滑油污染精密表面。
四、加载与分布
放置仪器时,确保总重量不超过平台额定承载能力。仪器应尽量居中布置,避免偏载导致平台倾斜。重型设备宜置于中心区域,轻型附件分布四周,维持质量分布均衡。
五、启动与浮升
先开启气源,缓慢打开进气阀门,让平台平稳升起至设计浮升高度(通常5–20μm)。观察平台是否平稳悬浮,有无晃动或局部触碰。待平台稳定后(约1-2分钟),再启动精密仪器进行测量。
六、运行维护与安全
实验结束后,先关闭仪器电源,再缓慢释放气源,让平台平稳降落;
定期检查气路接头有无漏气,清洁过滤器滤芯;
台面保持清洁,避免金属碎屑或液体流入气孔;
严禁在平台上进行敲击、钻孔等产生冲击的操作。