TMC光学隔振平台通过高效隔离环境振动，为高精度光学系统提供稳定、无扰的工作平台，是确保实验可重复性与数据准确性的关键保障。深入了解
TMC光学隔振平台各组成部件的功能特点，是构建稳固构造，驾驭精密光学系统的前提。
1、台面
功能：直接承载光学元件（如激光器、反射镜、显微镜）、机械支架与实验装置；
材质与结构：
常用花岗岩、不锈钢或复合蜂窝板，兼具高刚性、低热膨胀系数与良好阻尼性能；
蜂窝板台面由上下钢板与六角形蜂窝芯焊接而成，重量轻、抗弯强、固有频率低；
表面精密加工，布满M6或1/4"-20螺纹孔阵列，便于灵活安装光学元件。
2、隔振支撑腿
功能：连接台面与地面，吸收并衰减传递至台面的振动能量；
类型与特点：
气浮隔振腿（主流）：
内置气囊或气室，充入压缩空气形成“气弹簧”，固有频率可低至0.5-2Hz；
配备高度调节阀，自动维持台面水平（调平精度±0.05°）；
对中高频振动（>5Hz）隔离效果优异。
机械隔振腿：
采用螺旋弹簧或橡胶垫，成本低，适用于轻载或低要求场景；
固有频率较高（3-8Hz），隔振性能弱于气浮。
3、阻尼系统
功能：抑制台面在受扰后产生的自由振动，快速恢复稳定状态；
实现方式：
被动阻尼：台面内部填充阻尼材料（如沥青、聚合物），或使用粘弹性层；
主动阻尼：集成加速度传感器与作动器，实时检测振动并施加反向力抵消。
4、气源处理单元
功能：为气浮腿提供干燥、洁净、压力稳定的压缩空气；
组成：
空气过滤器：去除水汽、油雾与颗粒物，防止气路堵塞；
减压阀：将高压气源降至工作压力（通常0.4-0.6MPa）；
储气罐：稳定气压，减少波动。
5、水平调节系统
功能：确保台面绝对水平，避免光学元件光轴偏移；
结构：
每条支撑腿配备精密调平螺丝或自动调平阀；
内置电子水平仪，实时监测并反馈调整。
6、外围接口与附件
电气接口：为平台上的设备提供电源插座或数据端口；
防静电设计：台面接地，防止静电积累损伤敏感器件；
侧板与围栏：安装隔音罩、防尘帘或安全防护网。
7、主动隔振系统
功能：针对低频振动（<5Hz）进行主动补偿，突破被动隔振的物理极限；
原理：
加速度传感器实时监测振动；
控制器计算反向信号；
电磁或压电作动器施加抵消力。
更新时间：2025-10-10
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