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TMC STACIS III 主动隔振系统

更新时间:2023-12-20

简要描述:

TMC STACIS III 主动隔振系统
STACIS ® III 是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用*的惯性振动传感器、复杂的控制算法和zui 先 进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。

TMC STACIS III 主动隔振系统

STACIS ® III 是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用*的惯性振动传感器、复杂的控制算法和zui 先 进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。
STACIS 最初设计用于隔离*半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。

STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器,DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口,这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次,是适用于对振动最敏感的仪器的理想隔振系统。

优势:

STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍,不受空气隔振系统的任何限制。没有“软"悬架,而且与主动空气系统不同,STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,两个系统都经过全面优化。

du特的串行设计和专有的高压压电技术
可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和wu与lun比的真正主动隔振,从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。

TMC STACIS III 主动隔振系统
性能规格
主动自由度6个
有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹
被动固有频率18 赫兹垂直和水平
有效主动谐振频率0.5赫兹
1 Hz 时的隔离40% - 70%
≥2 Hz 时的隔离≥90%
10 磅(4.5 千克)阶跃输入后的稳定时间(10:1 减少)0.3秒
内部噪音<0.1 纳米均方根
每个隔离器的工作负载范围低容量:182-500 千克(400-1100 磅)
中容量:410-955 千克(900-2100 磅)
高容量:864-2045 千克(1900-4500 磅)
刚度(1000 磅/454 千克质量,中等容量隔离器)40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)
从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸(102 毫米)<0.02 μG 宽带 RMS



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