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TMC SEM-Base VI 主动压电隔振

更新时间:2023-12-20

简要描述:

TMC SEM-Base VI 主动压电隔振
硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。
主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。
采用压电技术的串行设计

TMC SEM-Base VI 主动压电隔振

SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜(SEM)以及许多聚焦离子束(FIB)和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。
SEM-Base VI采用du 特的“串行结构",其中的振动传感器测量地面振动,而不是有效载荷振动。与其他设计不同,这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器,在难以测量的亚Hz范围内具有最大灵敏度。结合我们du 特的压电致动器技术,SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现ji 高的消振水平。
SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器,为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面,可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时,DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI,无需安装其他软件或应用程序。此外,用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器(LCD)与控制器连接。

注意:请参见SEM-Closure,这是一种专为保护SEM而设计的整体环境解决方案。它可以将SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一个密封和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。

TMC SEM-Base VI 主动压电隔振 优势

硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。

主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。

采用压电技术的串行设计 - du 特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的zhuo 越惯性主动振动消除性能。



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