更新时间：2023-12-20
TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振STACIS IIIc 是我们STACIS III 有源压电振动消除系统的紧凑型版本。它以较低的高度提供同样出色的隔振性能。STACIS IIIc 非常适合没有活动地板或活动地板非常低的情况，在这种情况下，标准 STACIS III 系统的高度会使仪器过高。
TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振
STACIS IIIc 是我们STACIS III 有源压电振动消除系统的紧凑型版本。它以较低的高度提供同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc 非常适合没有活动地板或活动地板非常低的情况，在这种情况下，标准 STACIS III 系统的高度会使仪器过高。
STACIS IIIc 配置中，高度小于常规 STACIS III 高度的 60%。在具有 3 个以上隔离器的系统中，高度将在 60% 到 70% 之间，具体取决于有效载荷设置。
STACIS IIIc 的优势-
与性能没有降低的常规 STACIS III 系统相比，隔离器高度最多可减少 42% 。
STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软"悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。
du特的串行设计和专有的高压压电技术
可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和wu与lun比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。
| 主动自由度 | 6个 |
| 有效带宽 | 0.6 赫兹 - 150 赫兹 |
| 被动固有频率 | 18 赫兹垂直和水平 |
| 有效主动谐振频率 | 0.5赫兹 |
| 1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz 时的隔离 | ≥90% |
| 10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 纳米均方根 |
| 每个隔离器的工作负载范围 | 低容量：182-500 千克（400-1100 磅） 中容量：410-955 千克（900-2100 磅） 高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅） |
| 刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器） | 40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米) |
| 从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米） | <0.02 μG 宽带 RMS |
