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STACIS®III主动隔振系统主动光学平台

更新时间:2019-11-15

简要描述:

STACIS®III主动隔振系统主动光学平台。采用先进的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和先进的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。
最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振,STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备

STACIS®III主动隔振系统主动光学平台

STACIS®III是先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和先进的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。
最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振,STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备

Stacis III包括一个新型改进的数字控制器-DC-2020。 它搭载全新高效的双核处理嚣, 前后面板上都配备以太网和USB串口,新型先进控制系统为用户提供了一个现代 的、 易于使用的图形用户界面(GU币。
Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例, 对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动清除系统。

STACIS®III主动隔振系统主动光学平台STACIS相比于气浮支腿更加坚固可靠, 且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限 性. 它元气浮支撑, 并且与主动的气浮系统不同, STACIS可以放置在具有内部主动空 气隔离系统的设备下面, 且两个隔振系统相互兼容.
设计有独特的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹, 以及从2Hz开始主动振动消除性能可达至90%。

 

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