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MaxDamp™-针对动态载荷和偏移载荷的气浮支腿系统
发布时间:2020-11-18   点击次数:30次

 

MaxDamp-针对动态载荷和偏移载荷的气浮支腿系统

MaxDamp是TMC在气浮光学平台系统上针对动态载荷或偏移载荷产品的一个创新。

在需要震动隔离的实验室里经常遇到桌面上有动态载荷或者高速移动的有效载荷,普通的光学平台支腿很难在这种条件下同时保持气浮桌面的稳定性和平台隔振的有效性,但MaxDamp的出现有效的解决了这些问题。

 

MaxDamp®将TMC传统的Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合,为此类应用提供了额外的阻尼。

 

当需要较高阻尼时,它将成为一个好的选择,而且它的减振性能只是略微有一点减弱,却获得了更快的有效负载稳定时间和更高的阻尼水平。

 

MaxDamp适用于需要快速稳定有效载荷的高负载偏移、高速XY电动工作台的有效载荷,如半导体检测、光刻机以及其他具有相对较高动态载荷的电动工作台的仪器,对于具有机器人运动或电动工作台的有效载荷,MaxDamp®提供的有效隔振并主动稳定有效负载引起的运动更使其成为优良的解决方案。

 

如果您的动态载荷或偏移载荷非常大,MaxDamp®的阻尼性依旧不能满足您的需求,那么UltraDamp™ - 高阻尼空气隔振系统 将会满足您的这些高阻尼需求。

 

性能特点:

1. 从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振
2 共振的最小放大(3-5 dB)

3模块化设计。

4结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势,并具有高阻尼作用

5可升级到Electro-Damp®主动隔振

6非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

 

TMC的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平对比图表:

GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™的订购示例表:

应用照片:

 

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