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【应用速递】基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例
发布时间:2020-10-20   点击次数:66次
  • 为什么选用主动的隔振控制系统?
  • 优越的低频隔振效率。(具体效率请见红蓝隔振曲线图)
  • 主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。(黑色稳定速度曲线图)
  • 避免气浮系统重力不稳定的风险。
  • 可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。

 

  • 通常情况下一套STACIS®隔振系统由34个隔振器加上数字控制器组成:

每个隔振器有三种负载能力的版本可供选择:

 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

对于尺寸较大的平台系统,可以将多个STACIS系统组合为一个操作系统来实现整体的隔振。

STACIS III 通常会配置层压钢板平台和底座支架来调整适配高度。

 

  • 两种典型的配置方式:
  • 安装在混凝土地板上:普通实验室环境, 通常可以为需要获得极低的系统高度时做特殊设计。
  • 安装在高架地板上:通常应用于洁净室中。

 

  • 应用案例:

附带Lift hood 的STACIS 2100:应用于UHV-STM超高真空扫描隧道显微镜

  • 配置3-Mount STACIS系统
  • 有效降低总体高度的left-hood设计

 

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