【应用速递】基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例

• 为什么选用主动的隔振控制系统？

• *的低频隔振效率。（具体效率请见红蓝隔振曲线图）
• 主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。（黑色稳定速度曲线图）
• 避免气浮系统重力不稳定的风险。
• 可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。

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• 通常情况下一套STACIS®隔振系统由3或4个隔振器加上数字控制器组成：

每个隔振器有三种负载能力的版本可供选择:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

对于尺寸较大的平台系统，可以将多个STACIS系统组合为一个操作系统来实现整体的隔振。

STACIS III 通常会配置层压钢板平台和底座支架来调整适配高度。

• 两种典型的配置方式：

• 安装在混凝土地板上：普通实验室环境， 通常可以为需要获得极低的系统高度时做特殊设计。
• 安装在高架地板上：通常应用于洁净室中。

• 应用案例：

C 附带Lift hood 的STACIS 2100：应用于UHV-STM超高真空扫描隧道显微镜

• 配置3-Mount STACIS系统
• 有效降低总体高度的left-hood设计

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