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TMCS TACIS 4主动隔振系统,用于半导体隔振

更新时间:2023-09-15

简要描述:

TMCS TACIS 4主动隔振系统,用于半导体隔振
全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上,该技术被全Q十个大半导体制造商中的九家所使用。
特别的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带隔离,在2Hz时可减少99.9%的振动。

TMCS TACIS 4主动隔振系统,用于半导体隔振

产品概述

STACIS®4是**的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器,配合准确的控制算法与*的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上,该技术被全Q十个大半导体制造商中的九家所使用。

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起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机,计量仪和检测设备而设计,如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案,包括但不限于故障分析,纳米技术研究,纳米制造,结构生物学和材料研究等应用。
STACIS 4包括新改进的,低噪声的数字控制器,DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上,增加了*的控制算法和新的专有技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除,但特别是10Hz以下的振动,对高分辨率成像和计量来说*敏感的。当与FloorSense™技术相结合时,STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动,在1Hz时可减少27dB。

TMCS TACIS 4主动隔振系统,用于半导体隔振

产品优点:

      STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠,且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑,并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面,且两个隔振系统相互兼容。
      特别的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带隔离,在2Hz时可减少99.9%的振动。
      比STACIS III更好的振动控制,与行业标准解决方案相比,STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。
      稳定的串联设计允许使得您安装后即可,无需再次安装调试,不像并行式设计本质上是不稳定的,需要频繁调整以保持峰值性能。此外,STACIS 4允许两级振动控制设计,可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高,两级设计正变得越来越普遍。
      STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器,从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。


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产品规格

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