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Thorlabs ORIC®线性位移台

更新时间:2022-09-27

简要描述:

Thorlabs ORIC®线性位移台
紧凑的不锈钢位移台,带压电惯性驱动
非常适合OEM和要求高分辨率相对定位的运行-锁定应用
提供多种位移台类型(请看右表)
顶板转接件提供其他安装孔阵列
安装转接件提供平坦的安装表面,用于安装位移台
使用直角支架转接件实现垂直安装和XYZ配置
需要压电惯性位移台控制器

Thorlabs ORIC®线性位移台

Thorlabs的ORIC®压电惯性驱动位移台(美国zhuanli11,218,090)结构紧凑,提供快速稳定的压电控制线性运动,且不会产生反冲。PD1(/M)和PD1D(/M)位移台分别是单轴和双轴配置,都提供开环工作,而PD1X(/M)带光学编码器的位移台是单轴配置,支持开环和闭环工作。所有位移台都支持3 kg的水平负载。位移台处于静止且未给压电器件通电时,压电惯性驱动器会自动锁定,因此这些位移台非常适合要求纳米分辨率和长期对准稳定性的运行-锁定应用。我们还提供兼容真空、带飞线的单轴位移台PD1V(/M);此位移台具有与PD1(/M)相同的形状因数、螺孔阵列和性能规格,但可以兼容低至10-6 Torr的真空环境。

负载安装选项
使用四个2-56(M2)螺纹孔或六个8-32(M4)螺纹孔,可将负载固定在位移台的运动平台上。PD1D(/M) XY位移台还提供#2(M2)和#8(M4)沉头孔用于安装。另外,PD1T(/M)和PD1U(/M)顶板转接件(下方单独出售)提供不同于位移台顶板的安装孔阵列。可以使用六个Ø2 mm、1.5 mm深的定位销阵列对准负载。确保不要超过这些孔的最大插入深度,不然可能损坏位移台。

位移台安装选项
当运动板平移到行程范围末端时,可以操作沉头孔。有两种安装选项:边角的两个2-56(M2)螺丝推荐使用0.35 N·m扭矩,末端的8-32(M4)螺丝推荐使用0.55 N·m扭矩。我们提供TD75扭力螺丝刀,用于拧紧到特定的扭矩值。

位移台应该安装在平整度≤5 μm的表面。如果位移台安装表面的平整度>5 µm(多数面包板和光学平台都是如此),安装扭矩可能需要减小,使速度差异和位移台的俯仰/偏转满足规格要求。如果需要,可以使用PD1B(/M)和PD1B2(/M)安装转接件,其提供精密平整的安装表面,能够避免位移台安装到平台表面时产生变形。

两个线性位移台可以上下堆叠,以构建XY配置,适合需要多轴移动的应用,如右边图片的示例所示。

PD1Z(/M)直角支架转接件能将位移台垂直安装在另一个位移台上,实现XZ或XYZ配置。请注意,垂直安装位移台时,负载能力将显著减小。

兼容其他ORIC位移台
这些位移台可与ORIC旋转位移台一起使用,适合需要XY轴移动及旋转的应用,如右下图所示。PD1系列20 mm线性位移台还可安装在我们的ORIC 50 mm线性位移台上,用于实现更大的行程。


Thorlabs ORIC®线性位移台

压电惯性电机包含三个主要部件:挠性耦合压电驱动器、摩擦元件和滑块(运动平台)。在一个周期"粘"的部分,压电元件在斜坡电压下缓慢伸长,将摩擦元件和滑块一起推向前方。在"滑"的部分,驱动电压快速降低,压电元件回到初始长度,滑动元件向后滑动。由于惯性并且摩擦元件和滑块下表面之间的动摩擦系数小,滑块不会运动。右边的曲线展示一个"粘-滑"周期中的压电驱动电压变化。

重复这个周期将使滑块连续向前运动。对于反向运动,需要使用相反的驱动电压模式,使压电元件快速伸长并缓慢收缩,即完成"滑-粘"运动。运动时,位移台会产生尖噪声和一些热量。这是器件性能的正常行为,不表示错误条件。

由于各种因素,比如应用条件、压电迟滞、组件差异和轴向负载,实际的步长会有差异,并且不可重复。如需解决这个差异问题,必须使用外部反馈系统。



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