主动隔振平台采用*的惯性振动传感器、复杂的控制算法和*的压电致动器，通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离，在一开始的设计中，主要用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， 如今也可以成为嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，随着技术的不断提升，该隔振平台广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。