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技术的进步也扩大了主动隔振平台的适用范围
发布时间:2020-08-07   点击次数:94次
 主动隔振平台采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离,在一开始的设计中,主要用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离, 如今也可以成为嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,随着技术的不断提升,该隔振平台广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

相比于气浮支腿,主动隔振平台更加坚固可靠,且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑,并且与主动的气浮系统不同,可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面,且两个隔振系统相互兼容。此外,该隔振平台设计有独特的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹,以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。
 

 
主动隔振平台在世界各地有数百个成功安装案例,对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动消除系统。
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