大多数光学实验或工业生产都对系统稳定性有较高的要求。各种因素造成的振动会导致仪器测量结果的不稳定性和不准确性，严重干扰生产和实验的进行。

　　随着*的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。
 

　　为了提高系统的稳定性，我们可以从以下的几个方面来着手。

　　1、将系统与振源隔离

　　外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响较大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的空气弹簧支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

　　2、控制振动的作用

　　将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性，且可以降低在外界的影响下产生共振的几率，提高系统的稳定性。

　　3、控制静力矩的作用

　　桌面式隔振平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高桌面式隔振平台的共振频率，从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下，具有较高硬重比的桌面式隔振平台可以在小的重量下产生小的变形，增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的桌面式隔振平台可以充分的提高硬重比，达到提高系统性能的目的。

　　4、控制温度变化

　　随着时间的延续，不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如，避免在桌面式隔振平台下放置散热设备，隔绝热源设备和硬件，如光源、火焰等。

　　5、尽可能将台面设计成对温度不敏感的

　　良好的热传导性可起到作用，然而，在特殊的应用中，选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢，具有极小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长度约0.2微米。