TMC主动隔振系统STACIS III

STACIS^®III

STACIS^®III是的主动震动隔离系统。采用*的惯性震动传感器，复杂的控制算法，和的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板震动来进行实时振动隔离。

初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔离，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂，失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

Stacis III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型*控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对大部分振动敏感仪器来说都是的振动消除系统。

Stacis^®III优势

STACIS相比于气浮支腿更加坚固，且不存在气浮隔振系统的局限性。无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同，STACIS可以放置在具有内部主动空气隔离系统的工具下面，且两个系统均可充分使用。

*的串口设计和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹，以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。

特点及优点

      1、从0.6Hz开始隔离震动，1赫兹时可隔震40%到70%
      2、2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供了超过90%的震动隔离
      3、减少工厂地板建设成本，使工具能够安装在较强振动环境中

      4、主动带宽：0.6Hz到150Hz
      5、被许多工具制造商推荐
      6、6自由度活动硬性底座设计，无气浮支撑

      7、鲁棒控制系统，不需要预先调适
      8、可与设备内置隔离系统兼容
      9、振动水平随时间增加时确保可以满足工具的振动标准
      10、利用TMC Stacis^®技术通过压电陶瓷制动器来消除震动

      11、带有基于基于计算机的图形用户界面(GUI)的数字控制器

      12、旧的、有噪音的地板也可以适应*的工具

      13、兼容各种地板的高度和在晶圆厂内各种形状的毛地板
      14、增加产量，质量和收益
      15、通过RoHS认证