硅光电探测器是一种基于硅材料的光电转换器件,其核心原理是利用硅的光电效应将光信号转化为电信号。
工作原理:
光吸收:当光线照射到硅光电探测器上时,光子能量被硅材料吸收。
电子激发:吸收的光能将硅中的电子激发到能带中的导带,形成电子空穴对。
载流子分离:由于硅具有半导体特性,电子和空穴会在外加电场的作用下被分离开来。
电流产生:分离的电子和空穴在电场的作用下沿着导体形成电流,通过连接至外部电路的电极,可以测量到由光电转换过程产生的电流信号。
硅光电探测器根据结构和工作原理的不同,主要分为以下几种类型:
光电导探测器:利用半导体材料的光电导效应制成。当电压穿过探测器时,入射光子产生载流子,并被施加的电场扫过并传到器件的终端。金属-半导体-金属(MSM)探测器是光电导探测器中的一种结构,具有低电容特性,传输速度很快,高达300GHz。
PIN探测器:是硅光目前应用最多的结构。探测器的一侧是p型(Positive),另一侧是n型(Negative),P型和N型是重掺杂,本征区(Intrinsic)没有掺杂或者低掺杂。PIN型结构会在本征区创建了一个内建电场,光在本征区域被吸收,产生电子-空穴对,在电场的作用下,电子向N区漂移,空穴向P区漂移,从而产生光电流。PIN探测器在0V时也具有响应度,但通常会有再施加一个反向偏置电压,以最大限度地提高响应度。
雪崩探测器(APD):光电导探测器和PIN探测器的最大响应度都受限于吸收层材料的带隙宽度。雪崩探测器通过雪崩增益提高量子效率,当载流子在高能运行时发生碰撞会产生额外的电子-空穴对,该反应不断发生,导致所产生的载流子数目激增。在雪崩光电探测器中,载流子产生的光电流会被雪崩产生的载流子放大很多倍。