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主动隔振平台集合了多种先进技术
发布时间:2020-01-16   点击次数:52次
   主动隔振平台设计用于承载所有商业扫描电子显微镜(SEMs)、多数聚焦离子束显微镜(FIB)及小型双光束设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器,带有高级图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。
  主动隔振平台采用独特串联结构,振动传感器测量的是地面振动,不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器,在测量亚Hz振动时具有最大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术,SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。
  相比于之前的SEM-Base版本,SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式双核处理器,为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面,可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时,DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面,无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的板载式菜单驱动液晶屏(LCD)直接进行控制。
  1、主动惯性振动消除:采用高灵敏度的低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。
  2、硬式装载技术:兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统, 从 0.6Hz 开始主动强力消减地面低频振动。
  3、完全集成式的单平台设计:设计与制造的集成化,将安装平台的工作简化到了极致,简单的定位与设置之后即可正常工作。
  4、串行设计与压电技术:独特串行设计加上高强度压电专利技术,SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽,更实现了无与伦比的惯性主动振动消除,2Hz以上的振动衰减可达90%以上。
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