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全面曝光源

更新时间:2020-04-21

简要描述:

我们的 500 W 和 1000 W 全面曝光源涵盖近紫外光 (350 - 450 nm)、中紫外光 (260 - 320 nm) 和深紫外光 (220 - 260 nm)。NUV 经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;MUV 用于聚合物交联以及新型光刻胶;DUV 用于深紫外光研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13 到 10 x 10 英寸的样品。

我们的 500 W 和 1000 W 全面曝光源涵盖近紫外光 (350 - 450 nm)、中紫外光 (260 - 320 nm) 和深紫外光 (220 - 260 nm)。NUV 经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;MUV 用于聚合物交联以及新型光刻胶;DUV 用于深紫外光研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13 到 10 x 10 英寸的样品。

  • 高强度输出
  • 强度分布均匀的大面积准直光束
  • 高效带外抑制
  • 定时曝光

全面曝光源特征:

高亮照明光源灯箱

涂覆用于 NUV 的 AlSiO 或用于 MUV 和 DUV 系统的增强铑的高效椭圆形反射器,可收集高达 70% 的弧光灯输出。在光通过专有设计的光束匀化器之后,45°初级二向色镜对光进行反射。匀化器或光学积分器类似于复合蝇眼。它干扰弧光灯的非均匀辐照以产生多个发散光束。这些发散光束在准直透镜处重叠,从而在工作平面上产生高度均匀的准直光束。坚固的电子分离式叶片快门系统位于匀化器后面。它由高精度和可重复的快门及快门电源组成。可以通过灯罩侧板上的开关或通过 68955 手持式开关手动打开和关闭该系统。对于自动曝光控制器,我们提供 68951 型数字曝光控制器或 68945 型数字计时器。根据要求,还可以在灯罩上接线,从而通过计算机逻辑电平操作快门。

弧光灯选项

NUV 光源采用汞短弧光灯,这些光源包含精确含量的汞和氙或氩,用于充当初始气体。通过紫外光波长和可见光波长的强汞线会影响其输出光谱。365 nm 线使其非常适合用于 NUV。MUV 和 DUV 光源控制汞(氙)短弧灯,后者类似于汞灯,但除初始气体外还包含氙气。额外的氙气增强了短波紫外线,使其成为 350 nm 以下应用的理想选择。我们提供具有 NUV 和 MUV 光源的无臭氧汞氙灯以及用于 DUV 型的紫外增强灯。上图显示了 6285 500 W 汞灯的典型输出。

三个光谱范围

照明光源的光谱输出由灯类型、二向色镜和准直透镜确定。NUV 光源采用汞灯,使用BK7玻璃透镜(不透射低于 350 nm 的光)并且具有相应的二向色镜。MUV 和 DUV 光源采用汞氙灯,使用紫外级熔融石英透镜(透射低至 200 nm 的光)并具有相应的二向色镜。如果您需要在所有地区工作的灵活性,请选择 DUV 光源并为相应区域额外购买二向色镜。

 

三个安全联锁系统

每个灯箱包含三个联锁系统。打开灯箱门将触发电子联锁开关,从而自动中断系统电源。这可以防止操作员意外接触灯。如果温度超过安全操作水平,则热防护联锁会关闭系统。如果灯的冷却风扇发生故障,则第三个联锁将关闭系统。

软启动点火器

我们的 500W 汞 NUV 灯罩包含内置的“软启动”点火器。这种点火器专为汞灯设计,可提供高压斜坡,从而实现可靠的低压力点火。结果是可忽略的电磁干扰。500 和 1000 W 汞(氙)灯罩包含一个高压点火器,这是点燃这种灯类型所必需的。这些点火器在灯电极上施加高电压 (25 kV) 脉冲放电。靠近灯会减小脉冲必须行进的路径长度,从而有利于点火和减少电磁干扰。

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