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Stabilizer™ 无尘室气动隔振器

更新时间:2020-05-27

简要描述:

Stabilizer™ 无尘室气动隔振器用于 USC 系列无尘室光学平台的无尘室
混合室设计最da化了隔离带宽和稳定性
高精度的重新调平功能改善了受干扰后的重新定位

Stabilizer™ 无尘室气动隔振器

我们的 S-2000AC 系列气动隔振器采用 Newport 独有的无尘室预处理程序制造而成,最限度地提高了将在无尘室应用中使用的产品的清洁度。

  • 用于 USC 系列无尘室光学平台的无尘室
  • 混合室设计最da化了隔离带宽和稳定性
  • 高精度的重新调平功能改善了受干扰后的重新定位
  • 用于无限制活塞运动的具有专li的自定心设计可实现最平滑的隔离
  • 可调节隔离腿高度可以对不平坦的地面进行补偿,以获得更好的隔离效果
  • 人体工程学设计包括集成气泡水平仪、地震保护装置和浮标高度指示

Stabilizer™混合腔设计

 

Stabilizer™ 无尘室气动隔振器气动隔振器最重要的设计目标之一是降低其固有频率。 它与隔离器的柔性体积有关——体积越大,频率越低。不同于常规的柔性腔(其体积会影响固有频率)和阻尼腔设计不同,Newport获得专li的Stabilizer混合腔设计包含一个小尺寸的初始腔和一个第二个阻尼腔,整合为一个统一的混合腔。 由于大大减小了初始腔室的尺寸,因此它迫使隔振器将第二腔室作为柔性体积的一部分,这样便可以极大增加给定的包装尺寸下的柔性体积,同时大大降低了固有频率。

 

用于水平隔振的三线摆设计

 

S-2000出色的水平隔振是通过机械过滤系统实现的。与其他制造商的接触轴承表面相比,Newport引入了出现于耗能油中的零摩擦三线摆系统,消除了经常干扰高精度应用的摩擦,从而能够将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位。此外,S-2000设计具有专有的自定心功能,可以更好地确保隔离器对准并消除其他设计中可能发生的水平缩短。

 

层流技术提高阻尼效率

除了低固有频率,隔振器性能的另一个指标是阻尼效率。它与通过阻尼器的气流和压降成正比。与其他同类产品的单孔或细管设计相比,Newport 在隔振器设计中du家引入了层流阻尼元件,大大提高了阻尼效率。连接两个腔室的层流盘在活塞运动和阻尼室气流之间形成更好的联系。这对于给定的活塞位移可以产生更高的阻尼力以获得更快、更有效的阻尼。它还降低了共振的放大率,并优化了隔振带宽和稳定时间。S-2000A 还使用定制的超软膜片来降低刚度,从而进一步提高垂直隔振性能。

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