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ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移台

更新时间:2020-05-12

简要描述:

ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移台
562 系列 ULTRAlign™ 线性平移台是 3 轴平移台,配有水平安装平台,可实现you秀的长期稳定性和较高的载重能力。交叉滚子轴承和精密制造的轴承表面,可在确保偏差小于 100 µrad 的情况下进行线性平移。

ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移台
562 系列 ULTRAlign™ 线性平移台是 3 轴平移台,配有水平安装平台,可实现you秀的长期稳定性和较高的载重能力。交叉滚子轴承和精密制造的轴承表面,可在确保偏差小于 100 µrad 的情况下进行线性平移。

  • 具有较大水平平台的 XYZ 位移台
  • 不锈钢体提供刚性支撑,载重能力高达 35 磅
  • 每个轴具有 13 mm 的行程,均经过单独测试并可保证偏差 < 100 µrad
  • 硬化钢的交叉滚子轴承可用于高刚性和精密的运动
  • 左侧和右侧配置

ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移台特征

预装的交叉滚子轴承

预装的交叉滚子轴承提供可重复的零粘滑线性运动、可忽略不计的侧向游隙。滚轮条使圆柱形滚轮保持交替倾斜 90°,以确保与硬化和接地路线的恒定线性接触。

 

用于对准的大负载位移台

562 系列 ULTRAlign™ 线性位移台由 3 轴不锈钢位移台构成,构造坚固,具有更强的负载能力(高达 35 磅)。坚固的设计和更高的质量也使它们非常适合于使用度高的工业制造和研究应用,同时具有更强的热稳定性。交叉滚子轴承和精密加工的轴承表面(类似于 461 ULTRAlign 系列)保证了沿轴运动的平滑,并且较大直径轴承增加了位移台的刚度。使用六轴干涉仪进行校验以获得优异的线性行程(任何轴的角偏差均小于 100 µrad),确保实现zui佳的精度。每个位移台的轴都配有零干扰锁定机制,以保证在锁定或解锁时维持亚微米级的定位精度。

全不锈钢结构

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