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Agilis™ 压电马达线性平移台

更新时间:2019-11-15

简要描述:

Agilis™ 压电马达线性平移台:配备了 Newport 的Agilis 压电电机的高精度微型平移台。凭借超高的调节灵敏度、便捷的可编程操作以及紧凑的设计,Agilis 平移台以高品质手动平移台的价格实现了出色的运动性能。

Agilis™ 压电马达线性平移台:配备了 Newport 的 Agilis 压电电机的高精度微型平移台。凭借超高的调节灵敏度、便捷的可编程操作以及紧凑的设计,Agilis 平移台以高品质手动平移台的价格实现了出色的运动性能。

Agilis™ 压电马达线性平移台有如下特征:

多轴配置:对于 XZ 和 XYZ 配置,您可以使用 339233 支架。对于 AG-LS25 平移台的 XY 组件,使用每个平移台附带的 4 个 TC M3x4 螺钉。

集成有线性编码器版本:该CONEX-AG-LS25-27P 集成有直读线性编码器,可提供亚微米级双向重复精度。对于定位时的稳定性,比如当平移台处于设定的位置公差内时,用户可以通过调整死区值来停止其抖动。

50 nm 最小增量运动:Agilis 专有压电技术提供 50 nm 的增量运动能力,使其成为超灵敏对准和调整的理想选择。

真空兼容版本:Agilis 线性平移台具有真空兼容版本,该版本可以在真空(10-6Torr)环境中使用。

一劳永逸的长期稳定性:Agilis 压电电机直接耦合到移动托架,没有中间螺钉或齿轮,避免了传动系统中的耦合问题。停顿时,该电机的夹持力会将当前的位置锁住,实现真正的"一劳永逸"的长久稳定性。

无波纹和低摩擦行程:具有热匹配的不锈钢设计和精密制造的轴承表面的 Agilis 线性平移台可实现无波纹、低摩擦的线性位移,和任何轴上的角度偏差都可小于 100 µrad。

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