超高精度直接驱动垂直线性平移台

超高精度直接驱动垂直线性平移台：XMS-V 系列通过在经过验证的 XMS 设计中添加平衡机构，实现超精密垂直运动。在所有垂直平移台中，XMS-V 具有超佳的 MIM 和双向重复性，且速度最kuai。超高性能的垂直平移台，具有出色的精度、重复性和 MIM。非接触直接驱动系统，可平衡超精密、高动态运动和可靠操作。超大型无铁心高效率线性电机可最大限度地减少发热。超静音抗蠕变交叉滚子轴承可以在不移动轴承罩的情况下确保无波纹运动。两种类型的平衡可用：气动型或可自动防故障的磁性型。

超高精度直接驱动垂直线性平移台有如下特征：

高精密和平滑运动：无铁直接驱动技术支持高动态运动，基本上没有反冲、滞后、卷绕或静摩擦；导致持续降低和更多可重复的跳动。此外，由于没有驱动螺丝，可实现高精密定位所需的卓yue的无波纹运动

高精密线性编码器：高精密玻璃线性编码器可提供精确的位置反馈，支持 50 nm 的卓yue MIM。该低热膨胀标尺的精确对准和安装使温度变化对平移台重复性和精度的影响降至最低。

平衡选项:直接驱动电机、借助于平衡负载、抵消重力的影响、减轻电机的工作并具有线性电机的所有优势。气动平衡选项可针对不同负载进行调整。即使在切断电机电源时，磁平衡选项也可防止托架向下漂移。

防蠕动式交叉滚子轴承:与楔形设计相比，由相配对的抗蠕变交叉滚子轴承组成的直接垂直导轨，可在高灵敏度操作中实现卓yue的无波纹运动，同时防止罩移位。