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XM 超精密线性电机平移台

更新时间:2021-12-13

简要描述:

XM 超精密线性电机平移台:可提供持续、可靠的动力性能,运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。

XM 超精密线性电机平移台可提供持续、可靠的动力性能,运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。性能超高,小增量运动为 1 nm,非接触直接驱动系统,精度超高、动态性能好且操作可靠,亚纳米级高精度玻璃标度编码器,重复精度为 80 nm,超大型无铁心高效率线性电机可大限度地减少发热,超静音抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动,可选花岗岩底座可确保超平稳安装条件以实现超好性能。

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XM 超精密线性电机平移台主要特征:适用于激光加工应用;3轴超精密;可以通过命令控制 1 nm 位移步长;

超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过*的命令控制 1 nm MIM。

创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机,配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制,面向XY 组件的 T 形托架设计,具有超表面平整度的花岗岩底座,微定位校准服务,用于超可重复移动的高精密线性玻璃标尺,通过精密制造实现超高性能,节省空间的高可靠性设计,免费提供计量报告。配件:Granite 底座,Granite严格的平面度公差和超高硬度使之成为XM系列超精密直线电机位移台的补充选项。


用于超可重复移动的高精密线性玻璃标尺

高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心,将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值,从而实现出色的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上,无需任何其他电子或机械结构,便可提高可靠性和精度。

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通过精密制造实现超高性能

XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成,能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工,然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削,以进一步提高整体性能和精度。


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