更新时间：2021-12-13
XM 超精密线性电机平移台：可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。
XM 超精密线性电机平移台可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。性能超高，小增量运动为 1 nm，非接触直接驱动系统，精度超高、动态性能好且操作可靠，亚纳米级高精度玻璃标度编码器，重复精度为 80 nm，超大型无铁心高效率线性电机可大限度地减少发热，超静音抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动，可选花岗岩底座可确保超平稳安装条件以实现超好性能。
XM 超精密线性电机平移台主要特征：适用于激光加工应用；3轴超精密；可以通过命令控制 1 nm 位移步长；
超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过*的命令控制 1 nm MIM。
创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机，配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制，面向XY 组件的 T 形托架设计，具有超表面平整度的花岗岩底座，微定位校准服务，用于超可重复移动的高精密线性玻璃标尺，通过精密制造实现超高性能，节省空间的高可靠性设计，免费提供计量报告。配件：Granite 底座，Granite严格的平面度公差和超高硬度使之成为XM系列超精密直线电机位移台的补充选项。
高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心，将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值，从而实现出色的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上，无需任何其他电子或机械结构，便可提高可靠性和精度。
XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成，能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工，然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削，以进一步提高整体性能和精度。
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