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纳米定位压电叠堆促动器

更新时间:2020-07-16

简要描述:

NPA 纳米定位压电叠堆促动器 配有高度可靠的多层低压压电换能器堆叠。它们通过机械弹簧在内部完成预加载,具有高谐振频率,这使其成为高载重动态应用的理想之选。
亚纳米定位分辨率
载重能力超高
可选应变计位置反馈
真空兼容版本

纳米定位压电叠堆促动器 

 

特征

亚纳米定位分辨率

NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm,因此可以进行超精细调节,且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。

载重能力超高

NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力,因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。

适合闭环工作的可选应变计

闭环版本具有高分辨率位置传感器,可实现高精度且可重复的运动,而且还会对促动器的移动进行补偿。装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制。

真空兼容版本

NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。

纳米定位压电叠堆促动器 配有高度可靠的多层低压压电换能器堆叠。它们通过机械弹簧在内部完成预加载,具有高谐振频率,这使其成为高载重动态应用的理想之选。
亚纳米定位分辨率
载重能力超高
可选应变计位置反馈
真空兼容版本

技术参数

  • 行程范围

    0.1 mm  

  • 轴向负载

    1000 N  

  • 负载,拉

    150 N  

  • 轴向刚度

    10 N/µm  

  • 电容

    9.0 µF

  • 共振频率

    3000 Hz

  • 电缆长度

    1 m

  • 开环分辨率

    0.2 nm  

  • 亚纳米定位分辨率

    NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm,因此可以进行超精细调节,且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。

    载重能力超高

    NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力,因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。

    适合闭环工作的可选应变计

    闭环版本具有高分辨率位置传感器,可实现高精度且可重复的运动,而且还会对促动器的移动进行补偿。装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制。

    真空兼容版本

    NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。

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