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Newport 电动倾斜对准位移台

更新时间:2020-11-24

简要描述:

Newport 电动倾斜对准位移台8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其最小的回差,它具有良好的长期稳定性和高刚度。

Newport 电动倾斜对准位移台

8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其最小的回差,它具有良好的长期稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试,并在85°C的温度下,在超过3小时的时间内,其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆,两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。

Newport 电动倾斜对准位移台

技术参数

 

  • 机制Kinematic  

  • 驱动方式Picomotor  

  • 行程范围3 mm    

  • 角度范围θx=8°, θy=10°  

  • 负载13 N     

  • 最小位移增量<30 nm  

  • 角分辨率θx, θy≤0.7 µrad 

  • 真空兼容性10-9 Torr 

  • 线缆类型Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated 

  • 端口类型DB15 Female

  • 工作温度10 to 40°C 

  • 螺纹类型M4 and M6 8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其最小的回差,它具有良好的长期稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试,并在85°C的温度下,在超过3小时的时间内,其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆,两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。

 

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