产品中心您现在的位置:首页 > 产品展示 > 光机械 > 位移台 > 8081M-UHVNewport 电动倾斜对准位移台

Newport 电动倾斜对准位移台

更新时间:2021-10-18

简要描述:

Newport 电动倾斜对准位移台8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其小的回差,它具有良好的长期稳定性和高刚度。

Newport 电动倾斜对准位移台

8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其小的回差,它具有良好的长期稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试,并在85°C的温度下,在超过3小时的时间内,其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆,两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。

Newport 电动倾斜对准位移台

技术参数


  • 机制:Kinematic

  • 驱动方式:Picomotor

  • 行程范围:3 mm

  • 角度范围:θx=8°, θy=10°

  • 负载:13 N

  • 小位移增量:<30 nm  

  • 角分辨率:θx, θy≤0.7 µrad

  • 真空兼容性:10-9 Torr

  • 线缆类型:Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated

  • 端口类型:DB15 Female

  • 工作温度:10 to 40°C

  • 螺纹类型:M4 and M6


  • 在紧凑型单元中进行多轴光学定位

  • 运动设备对准台将多个堆叠位移台的功能集成到具有多个促动器的单个位移台。这些位移台被设计为将诸如声光调制器的设备或光学器件对准到光束路径,从而避免因为进行多轴定位而组合部件产生的附加摆动。这些位移台具有将一个光轴对准另一个光轴所需的所有自由度。五轴位移台额外提供对焦点的控制功能,而六轴位移台提供侧倾。每个自由度都有一个用于运动的促动器,从而两个促动器在被移动相等距离时提供平移,而一个促动器的运动提供围绕等分轴的倾斜。然后,通过沿相反方向旋转两个促动器螺钉,使安装板围绕其中心旋转。

QQ截图20211018172006.jpg


留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
青岛森泉光电有限公司

青岛森泉光电有限公司

地址:山东省青岛市黄岛区峨眉山路396号光谷软件园57号楼501

青岛森泉光电有限公司 版权所有 备案号:鲁ICP备18050584号-2  总访问量:76799  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

18560499169

86-0532-80982936