更新时间:2019-10-15
Newport 微型钢线性位移台MFA 是 Newport 钢位移台系列的成员之一,采用紧凑的封装,专为出色的热稳定性、刚度和载重能力而生。相对于位移台的尺寸,微型 MFA 是一种低成本选择,可在空间受限的应用中实现精密运动。全钢结构可以实现高刚度和热稳定性紧凑型设计用于空间有限的应用刚性双列线性滚珠轴承即插即用 - ESP 兼容高分辨率及编码器反馈可实现 100 nm 灵敏度
Newport 微型钢线性位移台
MFA 是 Newport 钢位移台系列的成员之一,采用紧凑的封装,专为出色的热稳定性、刚度和载重能力而生。相对于位移台的尺寸,微型 MFA 是一种低成本选择,可在空间受限的应用中实现精密运动。
行程范围
25 mm
最大速度
2.5 mm/s
最小位移增量
0.10 µm
中心负载
50 N
轴向负载 (+Cx)
10 N
逆轴向负载 (-Cx)
-10 N
精度,典型值
±0.7 µm
精度,保证值
±3.0 µm
单向重复精度,典型值
±0.08 µm
单向重复精度,保证值
±0.15 µm
双向重复精度,典型值
±0.15 µm
双向重复精度,保证值
±0.75 µm
俯仰,典型值
±25 µrad
俯仰,保证值
±100 µrad
俯仰顺应性
80 µrad/Nm
偏摆,典型值
±30 µrad
偏摆,保证值
±50 µrad
偏摆顺应性
80 µrad/Nm
滚转顺应性
60 µrad/Nm
原点重复精度
±2.5 µm
电缆长度
3 m
端口类型
DB25 Male
真空兼容性
No
螺纹类型
M2 and M3
重量
0.63 kg
MTBF
10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
RoHS
Compliant
最大功率密度
10 W
兼容的探头
SMC100CC
18560499169
86-0532-80982936