Newport 微型钢线性位移台

Newport 微型钢线性位移台

MFA 是 Newport 钢位移台系列的成员之一，采用紧凑的封装，专为出色的热稳定性、刚度和载重能力而生。相对于位移台的尺寸，微型 MFA 是一种低成本选择，可在空间受限的应用中实现精密运动。

• 全钢结构可以实现高刚度和热稳定性
• 紧凑型设计用于空间有限的应用
• 刚性双列线性滚珠轴承
• 真空兼容版本至 10-6Â hPa。
• 即插即用 - ESP 兼容
• 高分辨率及编码器反馈可实现 100 nm 灵敏度的超平滑运动

Newport 微型钢线性位移台   技术参数

• 行程范围

  25 mm

• 大速度

  2.5 mm/s

• 小位移增量

  0.10 µm

• 中心负载

  50 N

• 轴向负载 (+Cx)

  10 N

• 逆轴向负载 (-Cx)

  -10 N

• 精度，典型值

  ±0.7 µm

• 精度，保证值

  ±3.0 µm

• 单向重复精度，典型值

  ±0.08 µm

• 单向重复精度，保证值

  ±0.15 µm

• 双向重复精度，典型值

  ±0.15 µm

• 双向重复精度，保证值

  ±0.75 µm

• 俯仰，典型值

  ±25 µrad

• 俯仰，保证值

  ±100 µrad

• 俯仰顺应性

  80 µrad/Nm  

• 偏摆，典型值

  ±30 µrad

• 偏摆，保证值

  ±50 µrad

• 偏摆顺应性

  80 µrad/Nm

• 滚转顺应性

  60 µrad/Nm  

• 原点重复精度

  ±2.5 µm

• 电缆长度

  3 m  

• 端口类型

  DB25 Male

• 真空兼容性

  No

• 螺纹类型

  M2 and M3

• 重量

  0.63 kg

• MTBF

  10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)

• RoHS

  Compliant

• 大功率密度

  10 W

• 兼容的探头

  SMC100CC