技术文章您现在的位置:首页 > 技术文章 > Newport用于晶圆和掩膜检测的运动控制
Newport用于晶圆和掩膜检测的运动控制
发布时间:2020-11-06   点击次数:88次

Newport用于晶圆和掩膜检测的运动控制

MKS 提供了多种高性能的、适用于晶圆检测工具和其他运动控制应用的空气轴承位移台 , 经验丰富的 MKS/Newport 应用工程师与 OEM 客户合作,为正在开发的半导体制造过程提供专门的自动化运动控制解决方案,下文描述这些系统中用于提高精度和动态性能的技术。


IDL 工业精密定位平台是为高动态性能而开发的,其标准版本可在构建 XY 系统时加快响应速度。该平台采用铝结构,结合了机械轴承、直线电机、直线编码器和集成电缆管理,以提供可靠和准确的定位精度。XY 堆叠的 IDL 运动平台用于自动光学检测系统的优势是显而易见的,有多种行程组合可选。
 

IDL 工业精密定位平台


CeraMech 碳化硅陶瓷位移台是一种高性价比 XY 位移台,其采用陶瓷结构和机械轴承,无需使用空气轴承导轨即可实现优异的性能。陶瓷平台的刚性和稳定性是铝合金平台的 3 倍。MKS/Newport 开发了先进的制造技术来确保表面的平整度和稳定性,可以实现陶瓷位移台高动态性能的扫描以及步进应用。

CeraMech XY 碳化硅陶瓷位移台


HybrYX 混合空气轴承 - 机械轴承XY位移台,是一种成本相对较低、单平面、空气轴承平台, 非常适用于半导体晶圆或面板检测系统,以及许多其他需要超低速度波动和动态跟踪误差(即任意时间点当前位置与理想或理论位置设定值之间的差值)的扫描应用。平台的Z向、倾斜、俯仰、旋转角度调节选项可以允许精调晶圆或面板,以用于复杂的XY运动。HybrYX 系统运行可靠且寿命长,非常适合于高占空比环境如晶圆检测应用等。例如,HybrYX 300 是一款高性价比的混合滚珠轴承和空气轴承平台,针对晶圆片检测优化,扫描速度高达1m/s, 速度稳定性小于 0.1%;超过 300mm 行程内的平面度为±250 nm,XY方向的定位精度为 ±250 nm。

HybrYX 混合空气轴承 XY 位移台 

 

DynamYX 系列位移台具有商用产品中高的水平定位性能,专为 300 mm 晶圆加工和检测应用而设计,大量使用陶瓷材料来提供良好的刚性结构稳定性,且产品设计很轻薄,适合用于OEM 应用。

DynamYX 系列位移台

DynamYX 掩膜定位空气轴承位移台设计用于掩膜板的检测和修复应用。DynamYX RS 级位移台比传统的开放式解决方案封装要小得多,并且有一个全开的孔径,可灵活地集成光学组件并易于维修服务。其前端采用一个刚性且稳定的陶瓷支架,以确保在掩膜检测和/或修复过程中的高度稳定和清洁。

DynamYX 掩膜定位位移台 

DynamYX 中DATUM系列位移台也适用于晶圆片检测,他们对晶圆的清洁度要求符合ISO 2级标准,扫描速度高达 1 m/s,同时满足以下指标:动态立体 XYZ 抖动误差 ±30 nm, 当晶圆直径 300 mm 内平面度可达 ±150nm,XY 方向的定位精度达 ±100 nm。 
如果激光光源与工具分开放置,运动控制器件也用于控制光束传输,例如,MKS/Newport 的快速转向镜 (FSM) 使用反馈回路和电动镜架来控制激光束的位置。在研发应用中,这可用于两个独立的气浮平台之间的光束稳定。在制造应用中,当激光源与工具相距较远时,FSM可用于潜望镜配置,光源上的反射镜 ( 用于角度校正 ) 和工具上的反射镜 ( 用于位置校正 ) 可以控制进入工具光束的所有维度。

 

 

 

森泉为您的科研事业添砖加瓦:

1  激光控制:激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

2  探测器:光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

3  定位与加工:纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

4  光源:半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

5  光机械件:用于光路系统搭建的高品质无应力光机械件,如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

6  光学平台:主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

7  光学元件:各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

8 染料:激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等

 

 

 

青岛森泉光电有限公司

青岛森泉光电有限公司

地址:山东省青岛市黄岛区峨眉山路396号光谷软件园57号楼501

青岛森泉光电有限公司 版权所有 备案号:鲁ICP备18050584号-2  总访问量:31662  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

18560499169

86-0532-80982936